更新時(shí)間:2025-06-23

| 產(chǎn)地 | 進(jìn)口 | 加工定制 | 是 | 
|---|---|---|---|
| 質(zhì)保 | 1年 | 
日本科賦樂(lè)金屬密封式質(zhì)量流量控制器
日本KOFLOC5400系列質(zhì)量流量控制器-金屬密封
金屬密封,泄漏率1*10-11pa·m³/s以下
適用于高真空、半導(dǎo)體、劇毒、強(qiáng)腐蝕氣體環(huán)境下
±15VDC供電性能穩(wěn)定,0-5V模擬信號(hào)更加通用
日本科賦樂(lè)金屬密封式質(zhì)量流量控制器
性能參數(shù)
| 量程(N2) | 10SCCM-20SLPM(另外50SLM | 
| 精度 | ±1.0%FS | 
| 重復(fù)性 | ±0.2%FS | 
| 響應(yīng)時(shí)間 | 1秒以內(nèi) | 
| 耐壓 | 1.0Mpa | 
| 進(jìn)口大壓力 | O.3Mpa | 
| 動(dòng)作壓差 | 0.05-0.3Mpa | 
| 泄漏率 | 1*10-11pa·m³/s以下 | 
| 溫度范圍 | 5-45℃ | 
| 濕度范圍 | 10-90%RH(不能結(jié)露) | 
| 材質(zhì) | 本體SUS316L | 
| 密封圈SUS316L、PTFE | |
| 電氣接口 | DB9 | 
| 模擬信號(hào) | 0-5V輸入/輸出 | 
| 供電 | +15VDC(±5%)100mA;-15VDC(±5%)100mA; | 
| 管路連接 | 標(biāo)配1/4UJR | 
| 選配1/8UJR | |
| 重量 | 約1000g | 
★使用注意
一:進(jìn)氣管道上建議安裝上的過(guò)濾器、油水分離器使用,保證氣體的干燥干凈(濕度不超過(guò)90%(一定不能進(jìn)水)、雜質(zhì)粉塵不超過(guò)20微米)。
二:用肥皂水對(duì)管路進(jìn)行泄漏檢測(cè)時(shí),只能將肥皂水噴灑在管路接頭上,不能噴在儀表或電氣插頭上。
三:安裝前,請(qǐng)將設(shè)備管路進(jìn)行整體吹掃。
四:耐壓1.0Mpa,進(jìn)口大壓力5公斤。
五:需要進(jìn)行零點(diǎn)漂移清零的時(shí)候,確認(rèn)進(jìn)/出口沒(méi)流量沒(méi)壓力下 再操作。