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日本KOFLOC內(nèi)拋光質(zhì)量流量控制器

更新時間:2025-06-23

簡要描述:

日本KOFLOC質(zhì)量流量控制器-內(nèi)拋光,它實現(xiàn)了無焊接結(jié)構(gòu)(VCR規(guī)格),金屬密封的基本性能,以及半導(dǎo)體工藝氣體控制所需的±1%精度。板載傳感器的響應(yīng)能力。它具有出色的分辨率,可以處理1 sccm(N2)的微流量。

廠商性質(zhì):代理商點擊量:2500
日本KOFLOC內(nèi)拋光質(zhì)量流量控制器
產(chǎn)地進(jìn)口加工定制
質(zhì)保1年

日本KOFLOC質(zhì)量流量控制器-內(nèi)拋光概述:

  • 通過使用溫度跟蹤型電流差檢測流量傳感器實現(xiàn)高精度,高速傳感器響應(yīng)
  • 采用電磁鐵電磁閥常閉閥
  • 由于無焊接結(jié)構(gòu)(VCR規(guī)格),金屬密封,泄漏低
  • 采用隔膜閥,減少死體積
  • 面對面,體型和接線連接與其他公司的更換兼容

日本KOFLOC質(zhì)量流量控制器-內(nèi)拋光

5100系列性能參數(shù): 

5100系列電器連接:

 

5100系列使用注意:

一:進(jìn)氣管道上建議安裝上的過濾器、油水分離器使用,保證氣體的干燥干凈《濕度不超過90%(一定不能進(jìn)水)、雜質(zhì)粉塵不超過20微米》。

二:用肥皂水對管路進(jìn)行泄漏檢測時,只能將肥皂水噴灑在管路接頭上,不能噴在儀表或電氣插頭上。

三:安裝前,請將設(shè)備管路進(jìn)行整體吹掃。

四:耐壓1.0Mpa,進(jìn)口大壓力5公斤。

五:需要進(jìn)行零點漂移清零的時候,確認(rèn)進(jìn)/出口沒流量沒壓力下 再操作。

警告

流量范圍附帶的規(guī)格(流量范圍,精度,響應(yīng)性等)是N2或空氣轉(zhuǎn)換中的規(guī)格。
另外,生產(chǎn)規(guī)格條件是初級側(cè)小于300kPa,次級側(cè)向大氣開放。
有關(guān)壓力條件,請另行咨詢。

 

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